质谱仪以离子源、分析器和离子检测器为。离子源是使试样分子在高真空条件下离子化的装置。质谱仪能用高能电子流等轰击样品分子，使该分子失去电子变为带正电荷的分子离子和碎片离子。这些不同离子具有不同的，不同的离子在磁场的作用下到达检测器的时间不同，其结果为质谱图。质谱仪的日常维护，清洗离子源，离子源污染会造成重现性---，应及时清洗离子源。进行离子源操作时需要戴清洁的手套。
质谱仪zui重要的应用是分离同位素并测定它们的原子及相对丰度。测定原子的精度超过化学测量方法，大约2/3以上的原子的是用质谱方法测定的。质谱仪对工作环境有较高要求，所以室内必须有空调，并保持室内通风。质谱仪的真空度不能过低。质谱仪具有---的灵敏度和分辨率，在定性和定量方面有很有优势，所以现在配置质谱仪的实验室越来越多。
质谱分析是先将物质离子化，按离子的质荷比分离，然后测量各种离子谱峰的强度而实现分析目的一种分析方法。典型的质谱仪，质谱仪多少钱，一般由样品导入系统、离子源、分析器和检测器组成，此外，还含有真空系统和控制及数据处理系统等辅助设备。火花源质谱仪不仅可以进行固体样品的整体分析，而且可以进行表面和逐层分析甚至液体分析；激光探针质谱仪可进行表面和纵深分析；辉光放电质谱仪分辨率高，可进行高灵敏度，---分析。
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